測量參數(shù)

Ra、Rz（ISO）、Ry、Rq、Rt、Rp、Rv、Rz（JIS）、Rmax、
R3z、RSk、RS、RSm、RPc、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2

測量范圍

Ra:0.025-12.5μm

顯示范圍

Ra、Rq：0.005-16μm，Rz、Ry、Rt、Rp、Rv、Rmax、R3z、
Rz（JIS）：0.02-160μm，RS、RSm：1mm，Rmr：0-100%（%Rt），Rsk：0-100%

量程范圍

±20μm、±40μm、±80μm

zui高顯示分辨率

0.001μm

濾波方式

RC、PC-RC、GAUSS、D-P

取樣長度

0.25mm、0.8mm、2.5mm、自動

評定長度

1L-5L（可選），L為取樣長度

測量行程長度

3L-7L（可選）

zui大驅(qū)動行程長度

17.5mm/0.71inch

zui小驅(qū)動行程長度

1.3mm/0.052inch

示值誤差

≤±10％

示值變動性

≤6％

針尖角度

90°

顯示方式

128×64點(diǎn)陣液晶（帶背光）

工作環(huán)境

溫度：0oC- 40oC，相對濕度：＜90%

重量

440g

外型尺寸

140×52×48mm